Talyrond 595H系列

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    Talyrond 595H的所有軸都經過精密加工, 加強了軟件自動修正功能。能夠提供無以倫比的直線度和真圓度精度。調心和調平功能操作台配備了高分辨率電機,提高了精度和全自動尋找目標的功能。

    該儀器擁有 Talymin 6傳感器,量測能力能夠達到納米級別。同時自動橫臂機制能夠提供無以倫比的多功能化確保能夠測量最難以達到的部分。TR595H配置的主動抗振控制托架確保了不受外界環境影響的測量環境,保證測量環境接近生產過程。

    • 全自動軸臂橫向和縱向機制
    • 軸臂、立柱和主軸校准自動校准
    • 自動傳感器校准
    • 高精度空氣軸承主軸精度 +/- 0.01 um
    • 傳感器分辨率 0.3 nm
    • 主動隔震和環境隔離系統

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